Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) obtenidas por el método de co-sputtering
Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF - 13.56 MHz - magnetron co-sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C. Las películas delgadas se depositaron a temperaturas en el rango de 300 a 500°C sobre substratos de silicio (100) y acero AISI D3. El análisis de difracción de rayos X mostró que se obtienen dos fases de W-C: carburo de tungsteno W-C hexagonal y subcarburo W2C ortorrómbico. Estas fases dependen directamente de la concentración de tungsteno en el blanco compuesto y de la temperatura de deposición. Los resultados de espectroscopia de infrarrojo con transformada de Fourier de las películas depositadas a partir de diferentes blancos compuestos muestran la presencia de una banda de absorción a 1730 cm-1 asociada con los grupos carbonilo (C=O) y una banda ancha cerca de 1340 cm-1 en la cual hay dos modos de la fase cúbica y hexagonal del W-C en 1144 y 1220 cm-1, respectivamente.
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Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2008
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oai:scielo:S1665-352120080003000052013-11-28Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) obtenidas por el método de co-sputteringYate,L.Caicedo,J. M.Zambrano,G.Caicedo,J. C.Ipaz,L.Muñoz,J.Cortés,C.Prieto,P. Carburo de tugsteno Erosión catódica con magnetron co-erosión catódica Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF - 13.56 MHz - magnetron co-sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C. Las películas delgadas se depositaron a temperaturas en el rango de 300 a 500°C sobre substratos de silicio (100) y acero AISI D3. El análisis de difracción de rayos X mostró que se obtienen dos fases de W-C: carburo de tungsteno W-C hexagonal y subcarburo W2C ortorrómbico. Estas fases dependen directamente de la concentración de tungsteno en el blanco compuesto y de la temperatura de deposición. Los resultados de espectroscopia de infrarrojo con transformada de Fourier de las películas depositadas a partir de diferentes blancos compuestos muestran la presencia de una banda de absorción a 1730 cm-1 asociada con los grupos carbonilo (C=O) y una banda ancha cerca de 1340 cm-1 en la cual hay dos modos de la fase cúbica y hexagonal del W-C en 1144 y 1220 cm-1, respectivamente.info:eu-repo/semantics/openAccessSociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.Superficies y vacío v.21 n.3 20082008-09-01info:eu-repo/semantics/articletext/htmlhttp://www.scielo.org.mx/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1665-35212008000300005es |
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