Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) obtenidas por el método de co-sputtering

Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF - 13.56 MHz - magnetron co-sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C. Las películas delgadas se depositaron a temperaturas en el rango de 300 a 500°C sobre substratos de silicio (100) y acero AISI D3. El análisis de difracción de rayos X mostró que se obtienen dos fases de W-C: carburo de tungsteno W-C hexagonal y subcarburo W2C ortorrómbico. Estas fases dependen directamente de la concentración de tungsteno en el blanco compuesto y de la temperatura de deposición. Los resultados de espectroscopia de infrarrojo con transformada de Fourier de las películas depositadas a partir de diferentes blancos compuestos muestran la presencia de una banda de absorción a 1730 cm-1 asociada con los grupos carbonilo (C=O) y una banda ancha cerca de 1340 cm-1 en la cual hay dos modos de la fase cúbica y hexagonal del W-C en 1144 y 1220 cm-1, respectivamente.

Bibliographic Details

Main Authors:	Yate,L., Caicedo,J. M., Zambrano,G., Caicedo,J. C., Ipaz,L., Muñoz,J., Cortés,C., Prieto,P.
Format:	Digital revista
Language:	Spanish / Castilian
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2008
Online Access:	http://www.scielo.org.mx/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1665-35212008000300005
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