Caracterización superficial y nano estructural de nano multicapas Cr/CrN obtenidas por UBM con diferentes grados de desbalance

Recubrimientos de 25 bicapas de Cr/CrN con espesores totales entre 1.32 y 1.67 micras, se depositaron por sputtering reactivo sobre silicio y sobre acero H13, en atmósferas de argón y argón mas nitrógeno. Se usó una potencia de 160 watts, flujos de argón y nitrógeno de 9 y 3 sccm respectivamente, y un magnetrón axial desbalanceado, cuyo coeficiente geométrico de desbalance K G [1] se varió entre 0.85 y 1.37. De estos recubrimientos se obtuvieron micrografías de sección superficial y transversal con microscopía electrónica de barrido SEM, se les hizo una caracterización micro estructural con difracción de rayos X XRD, una caracterización nano estructural con microscopía electrónica de transmisión TEM y superficial con microscopía de fuerza atómica AFM en modo contacto intermitente, análisis que mostraron recubrimientos de superficies uniformes con formaciones globulares y piramidales, que contienen algunas inclusiones granulares y cráteres microscópicos. Con el aumento en el desbalance del campo magnético, se incrementaron el tamaño de grano, la rugosidad y la velocidad de crecimiento de los recubrimientos.

Bibliographic Details

Main Authors:	Piratoba,U., Arenas-Alatorre,J., Olaya,J. J.
Format:	Digital revista
Language:	Spanish / Castilian
Published:	Sociedad Mexicana de Física 2013
Online Access:	http://www.scielo.org.mx/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0035-001X2013000100004
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