Simulación numérica de señales de radiometría fototérmica en mono cristales de silicio
Utilizando el modelo teórico propuesto por Mandelis et al. y mediante simulación numérica, se analiza detalladamente la generación de radiación de cuerpo negro foto-inducida (señal de radiometría fototérmica) en obleas de silicios monocristalino. Se reporta la influencia particular de dicha radiación en cada uno de los principales parámetros físicos involucrados. Los valores utilizados para estos parámetros están dentro de los rangos reportados para obleas de silicio industriales. Se presentan y discuten los resultados obtenidos.
Main Authors: | , , |
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Format: | Digital revista |
Language: | Spanish / Castilian |
Published: |
Sociedad Mexicana de Física
2002
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Online Access: | http://www.scielo.org.mx/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0035-001X2002000500002 |
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