Handbuch Vakuumtechnik [electronic resource] : Theorie und Praxis /

1 Einleitung -- 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik -- 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik -- 1.3 Literatur -- 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik -- 2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases -- 2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen -- 2.3 Die Gesetze des idealen Gases -- 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand -- 2.5 Transportvorgänge -- 2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation -- 2.7 Gasdynamik -- 2.8 Literatur -- 3 Sorption und Desorption -- 3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie -- 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik -- 3.3 Praktische Hinweise zu Adsorption und Desorption -- 3.4 Absorption, Okklusion -- 3.5 Ausgasung -- 3.6 Literatur -- 4 Strömungsvorgänge -- 4.1 Übersicht. Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereiche -- 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen -- 4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand -- 4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe -- 4.5 Strömung im Grobvakuumbereich -- 4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich -- 4.7 Strömung im Feinvakuum -- 4.8 Strömung bei Temperaturdifferenz zwischen zwei Kesseln/Rezipienten/ Gefäßen. Thermische Effusion -- 4.9 Messung von Strömungsleitwerten -- 4.10 Literatur -- 5 Verdrängerpumpen -- 5.0 Übersicht -- 5.1 Oszillations-Verdrängerpumpen -- 5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen -- 5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen -- 5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen) -- 5.5 Trocken verdichtende Vakuumpumpen -- 5.6 Literatur -- 6 Treibmittelpumpen -- 6.1 Einleitung, Übersicht -- 6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen -- 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen -- 6.4 Diffusionspumpen -- 6.5 Diffusionspumpen — Dampfstrahlpumpen -- 6.6 Literatur -- 7 Molekularpumpen -- 7.1 Einleitung -- 7.2 Molekularpumpen -- 7.3 Turbomolekularpumpen -- 7.4 Theorie der einstufigen Pumpe -- 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen -- 7.6 Betriebshinweise -- 7.7 Anwendungen -- 7.8 Literatur -- 8 Sorptionspumpen -- 8.1 Adsorptionspumpen -- 8.2 Gasaufzehrung durch Getter -- 8.3 Ionenzerstäuberpumpen -- 8.4 Literatur -- 9 Kondensatoren -- 9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen -- 9.2 Bauarten von Kondensatoren -- 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen -- 9.4 Berechnung von Kondensator-Pumpen-Kombinationen -- 9.5 Literatur -- 10 Kryotechnik und Kryopumpen -- 10.1 Einleitung -- 10.2 Kühlverfahren -- 10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen -- 10.4 Temperaturmessung -- 10.5 Kryostatentechnik -- 10.6 Kryopumpen -- 10.7 Literatur -- 11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte -- 11.0 Vorbemerkung -- 11.1 Druck- und Teilchenanzahldichte; Übersicht -- 11.2 Mechanische Vakuummeter -- 11.3 Flüssigkeitsmanometer -- 11.4 Wärmeleitungsvakuummeter -- 11.5 Ionisationsvakuummeter -- 11.6 Partialdruckmeßgeräte -- 11.7 Lecksuchgeräte -- 11.8 Kalibrieren von Vakuummetern -- 11.9 Literatur -- 12 Lecksuchtechnik -- 12.1 Überblick -- 12.2 Überdruckverfahren -- 12.3 Lecksuchverfahren bei Vakuum -- 12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte -- 12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche -- 12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung -- 12.7 Literatur -- 13 Werkstoffe -- 13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung -- 13.2 Die Werkstoffe im einzelnen -- 13.3 Gasdurchlässigkeit -- 13.4 Gasabgabe -- 13.5 Literatur -- 14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen -- 14.1 Nichtlösbare Verbindungen -- 14.2 Lösbare Verbindungen -- 14.3 (Vakuum-)Behälter -- 14.4 Durchführungen -- 14.5 Flexible Verbindungsstücke -- 14.6 Absperrorgane (Ventile) -- 14.7 Reinigen vakuumtechnischer Werkstoffe und Bauelemente -- 14.8 Literatur -- 15 Arbeitstechnik in den einzelnen Druckbereichen -- 15.1 Allgemeine Hinweise -- 15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum (1013 ... 1 mbar) -- 15.3 Arbeitstechnik im Feinvakuum (1 ... 10?3 mbar) -- 15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum (10?3 ... 10?7 mbar) -- 15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum (p < 10?7 mbar) -- 15.6 Literatur -- 16 Anhang -- 16.A Tabellen -- 16.B Diagramme -- 16.C Erläuterung einiger häufig verwendeter Abkürzungen -- 16.D Größen und Einheiten -- 16.E Formelzeichen (Symbole) häufiger verwendeter physikalischer Größen und deren SI-Einheiten -- Sachwortverzeichnis.

Bibliographic Details

Main Authors:	Wutz, Max. author., Adam, Hermann. author., Walcher, Wilhelm. author., SpringerLink (Online service)
Format:	Texto biblioteca
Language:	ger
Published:	Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag : Imprint: Vieweg+Teubner Verlag, 1997
Subjects:	Physics., Mechanical engineering., Applied and Technical Physics., Mechanical Engineering.,
Online Access:	http://dx.doi.org/10.1007/978-3-322-99421-9
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