Desenvolvimento e avaliação de uma fonte DC de alta tensão para utilização em sistema de deposição de filmes finos por pulverização catódica

by Machuno,Luís Gustavo Baptista, Lima,Anderson Barbosa, Buso,Rafael Rocha, Abdanur,Rubens Miguel Favarato, Rangel,Elidiane Cipriano, Gelamo,Rogério Valentim
Published 2016